Méthode de régulation de l'alimentation en gaz et régulateur

Verfahren zur steuerung einer gasversorgung und steuerung

Method for controlling a gas supply and controller

Abstract

Une méthode (200) de régulation d'une alimentation en gaz d'une chambre de traitement (301) est divulguée. Ladite méthode (200) comprend les étapes consistant à : mesurer (210) un paramètre de gaz au moyen de deux capteurs ou plus (35, 36, 313, 314) prévus dans la chambre de traitement (301) ; déterminer (220) un paramètre de gaz combiné à partir de la mesure des paramètres de gaz ; et réguler (230) l'alimentation en gaz de la chambre de traitement (301) en fonction du paramètre de gaz combiné déterminé.
A method (200) for controlling a gas supply to a process chamber (301) is provided. The method (200) includes: measuring (210) a gas parameter by each of two or more sensors (35, 36, 313, 314) provided in the process chamber (301); determining (220) a combined gas parameter from the measured gas parameters; and controlling (230) the gas supply to the process chamber (301) based on the determined combined gas parameter.

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