다성분 박막의 증착을 위한 원자층 증착장치

Apparatus for multi component layer deposition for atomic layer deposition

Abstract

PURPOSE: An atomic layer deposition apparatus for the deposition of a multi-component layer is provided to prevent the size of a gas injection unit and the atomic layer deposition apparatus from being increased. CONSTITUTION: An atomic layer deposition apparatus for the deposition of a multi-component layer comprises a gas injection unit. The gas injection unit comprises multiple injection modules(131) which inject multiple source gases to a substrate. The source gases are different from each other. Each injection module comprises first, second, and third shells(310,320,330,340). The first and second shells are vertically coupled to each other. The third shells are arranged inside the first and second shells. The third shells divide the inner space of the injection module into multiple buffer units(301,302,303,304) and have multiple injection holes(321,331,341).
2원소 이상의 조성을 갖는 다성분 박막을 증착할 수 있는 원자층 증착장치가 개시된다. 다성분 박막의 증착을 위한 원자층 증착장치는, 기판에 서로 다른 복수의 소스가스를 각각 제공하는 복수의 분사 모듈이 구비되고, 상기 분사 모듈 중 적어도 하나의 분사 모듈은 서로 다른 복수의 소스가스를 제공하도록 형성되며, 서로 독립된 유로를 통해 제공하도록 형성될 수 있다. 원자층 증착방법(atomic layer deposition), ALD, precursor, 다성분 박막

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